第二百二十四章 无人自动公交车的强大理解
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报废。 不仅是地基的稳定性,光刻机生产的厂房所有灯光都有指定要求,不能使用我们平常使用的白光,而是需要使用波长较长的黄色光源。 因为光刻胶对短光非常敏感,所以用长波长的黄色光源的话,对于晶圆制造来说就如同关灯作业,原理就如同冲胶卷曝光一样。 除去这些,光刻机生产厂房还对空气质量有特别高的要求,空气质量需要达到ISO1级或者2级的水准,这样的空气质量比医用手术室的空气环境要求要干净一万倍…… 要达到这样的要求,就必须大量使用先进的全自动化机械cao作和高效的风机过滤机组进行24小时无间断的换气和过滤。 除去这些苛刻要求,更让胡来感叹的,还有光刻机高达三万多个零部件和制造光源所需要的强大电力消耗…… 不过。 好在沪市微电子厂虽然只是光刻机厂商,但对于光刻机的整套配套还是准备充足。 虽然诸如工厂的风机过滤机组(FFU)和过滤滤芯暂时无法国产,诸如国产光刻胶效果不尽人意等等,但在微电子的私下帮助下,凤凰28纳米光刻机的组装和相关配套还是有条不紊的完成了。 用沪市微电子负责项目的经理话说,第一批配套的设备和材料,微电子厂能想办法暗地里帮忙,但真正等凤凰半导体投入生产后,后续诸如过滤滤芯的更换升级、光刻胶材料的来源就是凤凰自己内部的事情了。 胡来已经非常满意了。 光刻胶再难、风机过滤机组、滤芯再难能难得过光刻机?只要解决了光刻机这个最难的问题,那其他配套都是时间问题! 很快。 由沪市微